真空干燥機就是在真空狀態下，提供熱源，通過熱傳導、熱輻射等傳熱方式供給物料中水分足夠的熱量，使蒸發和沸騰同時進行，加快汽化速度。同時，抽真空又快速抽出汽化的蒸汽，并在物料周圍形成負壓狀態，物料的內外層之間及表面與周圍介質之間形成較大的濕度梯度，加快了汽化速度，達到快速干燥的目的。

真空干燥機的過程就是將干燥物料置放在密閉的干燥室內，用 真空系統抽真空的同時對被干燥物料不斷加熱，使物料內部的水分通過壓力差或濃度擴散差到表面， 水分子在物料表面獲得足夠的 動能，在克服分子間的相互吸引力后，逃逸到真空室的低壓空間，從而被真空泵抽走的過程。

在真空干燥過程中，干燥室內的壓力始終低于大氣壓力，氣體分子數少，密度低，含氧量低，因而能干燥容易氧化變質的物料、易燃易爆的危險品等。對藥品、食品和生物制品能起到一定的消毒滅菌作用，可以減少物料染菌的機會或者抑制某些細菌的生長。